هيكساميثيل ديسيلوكسان (HMDS) هو مركب سيليوكسان يتميز بتركيبه الكيميائي الفريد ، ويتكون من ذرتين من السيليكون متصلة بذرات أكسجين ، كل منها مرتبط بثلاث مجموعات ميثيل. تُضفي هذه البنية عدة خصائص مفيدة، منها الاستقرار الحراري، واللزوجة المنخفضة، وخصائص كارهة للماء ممتازة. نتيجة لذلك ، يتم استخدام HMDS على نطاق واسع في مختلف التطبيقات ، es